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MEMS,即微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems),是一种将微型机械结构与电子电路集成在一起的技术。MEMS技术是实现微型化、智能化和集成化的关键技术之一。它使得各种传感器和执行器得以小型化,为更先进更便携的智能设备提供...
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